电子探针仪由电子光学系统和X射线谱仪系统组成。除探测系统外，其他系统与扫描电镜一样，常适用一套装备。

2、电子探针显微剖析仪的结构及分类
波谱仪：使用特征X射线的波长差别来展谱，实现对差别波长X射线划分检测的波长色散谱仪，简称波谱仪（wavelength dispersive spectrometer, WDS）。
能谱仪：使用特征X射线的能量差别来展谱，实现对差别能量X射线划分检测的能量色散谱仪，简称能谱仪（energy dispersive spectrometer, EDS）。
（1）波谱仪
波谱仪主要由分光晶体、X射线探测器和数据处置惩罚系统组成；波谱仪的事情原理是：凭证布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经由一定晶面间距d的晶体分光，波长λ 差别的特征X射线将有差别的衍射角 θ。 通过一连地改变θ，就可以在与X射线入射偏向呈2 θ的位置上测到差别波长λ的特征X射线信号。
（2）能谱仪
能谱仪主要由X射线探测器、 前置放大器、脉冲信号处置惩罚单位、模数转换器、多道剖析器、小型盘算机、显示纪录系统等组成，能谱仪的要害部件是锂漂移硅半导体探测器，习惯上记作Si（Li）探测器。能谱仪的事情原理是以电荷脉冲高度为依据将每个脉冲分类，归入具有差别 能量跨度的“道”，以“道”即能量为横坐标，以进入该“道”的电荷脉冲数为纵坐标，获得样品的能谱图。
3、波普仪与能谱仪的主要性能较量
表1 波普仪与能谱仪的主要性能

4、电子探针显微剖析的两种要领
电子探针剖析有两种基天职析要领：定性剖析和定量剖析。
（1）定性剖析
定性剖析是对试样某一选定点（区域） 举行定性因素剖析，以确定点区域内保存的元素。
定性剖析的原理：用光学显微镜或在荧光屏显示的图像上选定需要剖析的点，使聚焦电子束照射在该点上，引发该点试样元素的特征X射线。用X射线谱仪探测并显示X射线谱，凭证谱线峰值位置波长（或能量）确定剖析点（区域）试样中保存的元素。
X射线的对应的能量可以体现为：E=hv，式中：E为X射线的能量；h为普朗克常数。可以看出X射线的能量与频率保存逐一对应的关系，这是能谱仪定性剖析的基来源理。
（2）定量剖析
稳固电子束照射下，X射线谱扣除配景计数后，各元素同类特征谱线（常用Kα线）的强度值应与它们浓度相对应。
简陋近似，配景校正后的强度丈量值I 与其浓度C成正比
Ia：Ib…：Ii：…Ij＝Ca：Cb…：Ci…Cj；元素I 的浓度Ci 可由强度I 的归一化加以盘算：
5、电子探针显微剖析的两种扫描方法
电子探针剖析有两种扫描方法：线扫描剖析和面扫描剖析。
（1）线扫面剖析
使聚焦电子束在试样视察区内沿一选定直线（穿越粒子或界面）举行慢扫描。
X射线谱仪处于探测某已知元素特征X射线状态，得出反应该元素含量转变的特征X射线强度沿试样扫描线的漫衍。
X射线谱仪处于探测未知元素状态，得出沿扫描线的元素漫衍图，即该线上包括有哪些元素。
（2）面扫描剖析
聚焦电子束作二维光栅扫描；X射线谱仪处于探测某一元素 特征X射线状态，获得由许多亮点组成的图像，即X射线扫描像或元素面漫衍图像。
元素含量多，亮点麋集。凭证图像上亮点的疏密和漫衍，确定该元素在试样中漫衍：亮区代表元素含量高，灰区代表含量低，黑区代表含量很低或不保存。
泉源：新质料在线