电子探针仪由电子光学系统和X射线谱仪系统组成。除探测系统外，其他系统与扫描电镜一样，常适用一套装备。

2、电子探针显微剖析仪的结构及分类
波谱仪：使用特征X射线的波长差别来展谱，实现对差别波长X射线划分检测的波长色散谱仪，简称波谱仪（wavelength dispersive spectrometer, WDS）。
能谱仪：使用特征X射线的能量差别来展谱，实现对差别能量X射线划分检测的能量色散谱仪，简称能谱仪（energy dispersive spectrometer, EDS）。
（1）波谱仪
波谱仪主要由分光晶体、X射线探测器和数据处置惩罚系统组成；波谱仪的事情原理是：凭证布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经由一定晶面间距d的晶体分光，波长λ 差别的特征X射线将有差别的衍射角 θ。 通过一连地改变θ，就可以在与X射线入射偏向呈2 θ的位置上测到差别波长λ的特征X射线信号。
（2）能谱仪
能谱仪主要由X射线探测器、 前置放大器、脉冲信号处置惩罚单位、模数转换器、多道剖析器、小型盘算机、显示纪录系统等组成，能谱仪的要害部件是锂漂移硅半导体探测器，习惯上记作Si（Li）探测器。能谱仪的事情原理是以电荷脉冲高度为依据将每个脉冲分类，归入具有差别 能量跨度的“道”，以“道”即能量为横坐标，以进入该“道”的电荷脉冲数为纵坐标，获得样品的能谱图。
3、波普仪与能谱仪的主要性能较量
表1 波普仪与能谱仪的主要性能

4、电子探针显微剖析的两种要领
电子探针剖析有两种基天职析要领：定性剖析和定量剖析。
（1）定性剖析
定性剖析是对试样某一选定点（区域） 举行定性因素剖析，以确定点区域内保存的元素。
定性剖析的原理：用光学显微镜或在荧光屏显示的图像上选定需要剖析的点，使聚焦电子束照射在该点上，引发该点试样元素的特征X射线。用X射线谱仪探测并显示X射线谱，凭证谱线峰值位置波长（或能量）确定剖析点（区域）试样中保存的元素。
X射线的对应的能量可以体现为：E=hv，式中：E为X射线的能量；h为普朗克常数。可以看出X射线的能量与频率保存逐一对应的关系，这是能谱仪定性剖析的基来源理。
（2）定量剖析
稳固电子束照射下，X射线谱扣除配景计数后，各元素同类特征谱线（常用Kα线）的强度值应与它们浓度相对应。
简陋近似，配景校正后的强度丈量值I 与其浓度C成正比
Ia：Ib…：Ii：…Ij＝Ca：Cb…：Ci…Cj；元素I 的浓度Ci 可由强度I 的归一化加以盘算：
5、电子探针显微剖析的两种扫描方法
电子探针剖析有两种扫描方法：线扫描剖析和面扫描剖析。
（1）线扫面剖析
使聚焦电子束在试样视察区内沿一选定直线（穿越粒子或界面）举行慢扫描。
X射线谱仪处于探测某已知元素特征X射线状态，得出反应该元素含量转变的特征X射线强度沿试样扫描线的漫衍。
X射线谱仪处于探测未知元素状态，得出沿扫描线的元素漫衍图，即该线上包括有哪些元素。
（2）面扫描剖析
聚焦电子束作二维光栅扫描；X射线谱仪处于探测某一元素 特征X射线状态，获得由许多亮点组成的图像，即X射线扫描像或元素面漫衍图像。
元素含量多，亮点麋集。凭证图像上亮点的疏密和漫衍，确定该元素在试样中漫衍：亮区代表元素含量高，灰区代表含量低，黑区代表含量很低或不保存。
泉源：新质料在线